<概要>
对应基板 φ4、φ6英寸晶片
灰化分布 ±10%以内
排气时间 18秒以内到达10Pa
可选购项 Ar等离子清洗除静电器
用途，应用例：
1.各种晶片电子零件的去胶
2.后工序电镀前的表面改质
3.除去有机污染
4.树脂材料的表面改质
5.对应声表等极薄压电晶片
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LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备）
剥离成膜、厚膜成膜、低温成膜多功能型 真空蒸镀设备 SEC-22C
真空光谱特性监控 Spectra-Ace
等离子洗净设备 SPE-2136A
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