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高出力RF离子源 ISG-180
LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备)
剥离成膜、厚膜成膜、低温成膜多功能型 真空蒸镀设备 SEC-22C
真空光谱特性监控 Spectra-Ace
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