[特点]

1. 全自动

可在注模成型的基板上全自动地进行真空成膜（溅射和聚合）。

循环时间：100秒

高度粘合

[目标产品]

汽车前照灯反射器

镜子

金属装饰膜

设备结构

●最大装载尺寸     W250×L500×D150㎜

●适用基片材质            PC，PET，PP，PE等

●溅射数率：         10nm/sec以上（Al）

●聚合数率                  1nm/sec

●抽气速度               40sec可达0.1Pa（溅射室），40sec可达10Pa（聚合室）

●处理周期 自基片投放、溅镀、聚合至取出约在100sec以内完成。

●膜性能 反射率85％以上,KOH 1％10min

●泵配置 溅射室：RP + MBP + TMP，聚合室：RP + MBP（TMP选件）

●SP室+聚合室               2室配置

●溅 镀 室 高速率溅射阴极（靶材尺寸540×240mm）、40KW DC电源

●聚合室 辉光放电聚合电极×1个     1kW 射频电源

●溅射材料                  Al等

●聚合气体                  HMDSO（SiOx用）等

◇　可选项        基板旋转机构